เครื่องควบคุมสุญญากาศใช้ในการเคลื่อนย้ายหรือวางตำแหน่งแผ่นเวเฟอร์หรือสิ่งของต่างๆ ในห้องสุญญากาศเฉพาะทางและสำหรับการใช้งานในการขนถ่ายวัสดุ ให้ความยืดหยุ่นเพิ่มขึ้นเนื่องจากไม่ใช้ลิงก์แบบแข็ง อุปกรณ์ควบคุมสุญญากาศบางชนิดมีอุปกรณ์ติดตั้งหรืออุปกรณ์ปลายเอฟเฟกต์ อื่นๆ ได้แก่ ตัวล็อคน้ำหนักบรรทุกและไม้โยกเยก บ่อยครั้งที่มีการใช้เครื่องควบคุมสุญญากาศร่วมกับห้องสุญญากาศ ตัวจัดการเวเฟอร์หรือหุ่นยนต์คืออุปกรณ์ควบคุมสุญญากาศแบบอัตโนมัติสำหรับการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์หรือซับสเตรตเข้าหรือออกจาก PVD, CVD, การกัดด้วยพลาสมา หรือห้องแปรรูปสุญญากาศอื่นๆ ในการสร้างห้องสุญญากาศ มอเตอร์สุญญากาศหรือมอเตอร์ในสุญญากาศจะสูบอากาศออกจากถังจนกว่าจะได้ความดันบรรยากาศย่อยตามที่ต้องการ หากห้องสุญญากาศมีสุญญากาศสูงเป็นพิเศษ ต้องใช้เครื่องควบคุมสุญญากาศสูงพิเศษและมอเตอร์สุญญากาศสูงพิเศษ
1. การออกแบบที่เป็นเอกลักษณ์ของเครื่องดูดสามารถทำให้วัตถุขึ้นหรือลงได้ตามต้องการ แต่ยังหมุนไปในทิศทางของเบาะนั่งคงที่ของเครื่องดูดเพื่อให้การทำงานสะดวกและแม่นยำ การออกแบบรีโมทคอนโทรลช่วยเพิ่มความสะดวกในการใช้งานและรับประกันความปลอดภัยของผู้ใช้
2. ที่ยึดของเครื่องดูดสูญญากาศใช้แผ่นดูดนำเข้าที่มีแรงดูดซับสูง มีความปลอดภัยสูงและป้องกันผลิตภัณฑ์จากความเสียหาย
3. เครนสุญญากาศสามารถบรรทุกสิ่งของที่เปราะบาง ยกยาก และพื้นผิวเรียบได้อย่างง่ายดาย เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพ ลดกำลังแรงงาน และประหยัดต้นทุนขององค์กร